單晶硅生產(chǎn)工藝流程
作者: 來源: 日期:2017-08-25 20:56:11 人氣:1582
單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等。由于太陽能具有清潔、環(huán)保、方便等諸多優(yōu)勢,近三十年來,太陽能利用技術(shù)在研究開發(fā)、商業(yè)化生產(chǎn)、市場開拓方面都獲得了長足發(fā)展,成為世界快速、穩(wěn)定發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)之一。
1、石頭加工 開始是石頭,(石頭都含硅),把石頭加熱,變成液態(tài),在加熱變成氣態(tài),把氣體通過一個密封的大箱子,箱子里有N多的子晶加熱,兩頭用石墨夾住的,氣體通過這個箱子,子晶會把氣體中的一種吸符到子晶上,子晶慢慢就變粗了,因為是氣體變固體,所以很慢,一個月左右,箱子里有就很多長長的原生多晶硅。
2、酸洗 當(dāng)然,還有很多的廢氣啊什么的,(四氯化硅)就是生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的吧,好像現(xiàn)在還不能很好處理這東西,廢話不多說,原生多晶有了,就開始酸洗,氫氟酸啊硝酸啊,乙酸啊什么的把原生多晶外面的東西洗干凈了,就過烘房烘干,無塵檢查打包。
3、拉晶 送到拉晶,拉晶就是用拉晶爐把多晶硅加熱融化,在用子晶向上拉引,工人先把多晶硅放進石英鍋里,(廠里為了減少成本,也會用一些洗好的電池片,碎硅片一起融)關(guān)上爐子加熱,石英鍋的融點是1700度,硅的融點才1410度左右,融化了硅以后石英鍋慢慢轉(zhuǎn)起來,子晶從上面下降,點到鍋的中心液面點,也慢慢反方向轉(zhuǎn),鍋下面同時在電加熱,液面上加冷,子晶點到液面上就會出現(xiàn)一個光點,慢慢旋轉(zhuǎn),向上拉引,放肩,轉(zhuǎn)肩,正常拉棒,收尾,一天半左右,一個單晶棒就出來了。
4、切方 單晶棒有了就切方,單晶棒一般是做6英寸的,P型,電阻率0。5-6歐姆(一英寸等于2。4厘米左右)切掉棒子四邊,做成有倒角的正方形,在切片,0。22毫米一片吧。